产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤，LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。

洁净烘箱  型号：Class-270A/B

产品特点：

     该设备是一种新型工业级洁净干燥设备，采用独特的内外舱分体结构结合内循环风道设计，通过耐高温超高效过滤器H.E.P.A不断对内部进行自净化过滤，从而形成高洁净、温度均匀的密闭的高温热风烘烤环境。

产品用途：

产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤，LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。

结构特点：

外壳：外部采用1.2mm厚优质冷轧钢板经防锈处理后喷塑，也可选用不锈钢材质。

内胆：采用SUS304镜面不锈钢厚度1.2-1.5mm厚度之镜面不锈钢板，采用圆弧R角满焊处理，易清理，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE1。

保温层：采用高级保温棉，六面保温断热，保温厚度为80mm-150mm，保温性能好。

载物层架：可根据物品大小调节层间距，空间利用率高。

控制系统：

★控制面板：采用PID自动演算，7寸触摸屏显示，温度、时间、曲线、可编程分段设置等参数

报警功能：带传感器断线报警功能，带超温警报保护功能，确保产品运行安全

★加热管：加热管位于设备背面（可以有效避免液体滴到加热管上引起爆燃现象）

风道结构：

 风道结构：风道采用背部吸风，上下及两侧四面吹风，确保箱内温度均匀性，采用高密度冲孔风板。

  送风装置：采用大功率三相异步耐高温型长轴静音马达+大口径不锈钢涡轮扇叶，涡轮经水平纠正处理，确保运风平稳 。

  送风装置安全保护系统：带超温过载过流保护功能，确保马达及风机的使用寿命和安全性能。

   电加热系统：采用覆套式不锈钢无尘化电热发生器，洁净不产尘。

洁净循环系统：

 采用平面水平后边送风后，经耐高温高效过滤器H.E.P.A装置往上下及两侧四面(特殊风道设计)方向送风，0.3um直径PARTICLE，过滤效率99.97%，箱内洁净度可达Class 100。

    排气口：(附自动启闭风门)，以达到强烈循环效果而降温。

    压差计：进口压差计，可实时监控H.E.P.A工作状态。

    配全自动开关排风门，烘烤过程风门紧闭，确保内部对外封闭，防止外部排风PARTICLE回尘污染

安全功能：

    采用超温保护系统，确保箱体在运行过程中的整体安全性能。

    箱体内部电器保护系统（确保箱体内部电器运行平稳，安全可靠）：

    超温防止器（独立限温，超温断电）；

    相序保护（欠压欠相保护）；

    马达过电流保护；

    控制线路保险丝；

    电热过电流保护；

无熔丝开关。

参数介绍：